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      半導體晶片加工的游星輪，游星輪上均布有多個用于放置半導體晶片的孔位,其中一個所述孔位的一側設置有用于判斷半導體晶片起始放入位置的標識，以所述標識為起點按一定的規則順序依次將半導體晶片放入相應的所述孔位中。本實用新型準確的記錄了晶片在游星輪中的實際位置，避免了晶片在游星輪中的無序擺放。而半導體專游星輪在使用中遇到輪齒損耗快，易變性易被空氣腐蝕，導致使用壽命短的問題，而DLC類金剛石涂層工藝可以解決以上問題。

DLC涂層又稱類金剛石涂層，硬度高(>HV2200)，干摩擦系數低(0.05-0.1)。是一種無油自潤滑涂層。DLC涂層厚度可達到0.55um，并以最新工藝使產品具有良好的潤滑、散熱（干式）、絕緣防靜電、化學性能穩定等性能，使工件壽命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降低生產成本。

做了DLC處理的不銹鋼游星輪對酸堿具有良好的抗腐蝕能力，適用于在磨拋過程含有酸堿性工藝的產品使用。耐磨性強以不銹鋼游星輪實際工作為例，連續工作 8500 轉;表面無磨損,產品的表面維氏硬度達到 HV2800以上，由于游星輪跟其他工件摩擦，容易產生靜電，而做了DLC涂層有防靜電絕緣性能，從而保護半導體芯片。從而，提高了半導體晶片加工的游星輪的使用壽命。