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類金剛石膜(DLC)在電子及微電子領域的應用
來源:公司動態 | 發布日期:2024-05-07

1980年以來,類金剛石涂層作為新型鍍膜技術一直廣受歡迎,而我國在這方面也取得了一些進展,但與發達國家相比仍然還有差距。

類金剛石涂層目前有很多種類,一般類金剛石涂層分為氫化類金剛石碳膜(a-CH)和無氫類金剛石碳膜(a-C)兩大類,由于其結構工藝機理極為復雜,目前DLC涂層在高溫下會出現穩定性問題,比如在超過400度后DLC涂層會存在很大的內應力,也會降低其結合力,會是的DLC膜層出現起皺,脫落。

類金剛石涂層

但是這也阻擋不了DLC涂層由于特殊的結構,兼備鉆石性能,所以它同時也擁有很多優異的性能,比如DLC涂層的抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產品的保護膜。

類金剛石DLC在電子行業的應用

如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、電器中的音膜、半導體行業的電路板加一層類金剛石膜 DLC 保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。

類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法,且且同時不會破壞薄膜的表面。

采用類金剛石膜和碳膜交替出現的多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨特的電特性,在微電子領域有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發射均勻性好,即使在較低的外電場作用下,也可產生較大的發生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。

【責任編輯】小編

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