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工藝溫度 80~150°C低溫涂層:含氫類金剛石DLC涂層
來源:技術支持 | 發布日期:2024-01-27

含氫類金剛石DLC涂層的主要成份是碳,是一種兼有高硬度與優異摩擦性能的非晶體硬質薄膜由石墨(SP2)與金剛石(SP3)組成。SP3金剛石的碳原子在空間構成連續、堅固的骨架結構,所以堅硬,成正八面體晶狀體。SP2石墨的碳原子呈平面層狀結構,層與層之間的作用力小,所以很軟,能導電,有滑感的鱗片狀結構此類類金剛石(DLC)涂層通常由含氫(H)氣體如乙炔C2H2,甲烷CH4經過PECVD的方式獲得.而且可以在較低工藝溫度下獲得,工藝溫度最低可以低于80°C,從而可以有效解決材料熱變形等缺陷。

含氫類金剛石(DLC)涂層

由于其優異的摩擦性能,在工業上得到廣泛應用。特別是在無潤滑劑情況下,摩擦系數也很低(µ=0.0050.2)含氫類金剛石DLC涂層摩擦系數小,而且抗粘附性好,硬度高、耐磨性優良。

 

類金剛石DLC涂層的特性

薄膜厚度:<=3um

摩擦系數:0.05~0.1

薄膜硬度:<30GPa (HV3000)

最高使用溫度:350°C

薄膜顏色: 黑色/黑灰色

工藝溫度: 80~150°C

涂層結構: 納米單層/復合

 

【責任編輯】小編

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