由于半導體精密配件球閥長期收到各類化學物質腐蝕侵蝕,并且在使用過程中容易收到擠壓和摩擦,在使用一段時間后,球閥的為提高球閥的表面就會出現磨痕,表面出現裂痕,所以這樣嚴重影響到球閥的密封性。
如何提升球閥表面的耐刮性且擁有高硬度呢?
球閥加工廠找到了WCC涂層廠,希望能夠幫忙解決這個問題,WCC涂層是摻鎢含氫非晶碳(a-C:H:W)DLC涂層。與其他元素相比較而言,這種W-DLC涂層數字較低(通常在干式情況下為0.1~ 02),因此具備出眾耐磨損性能以及優異耐轉動接觸疲勞性能。生產的此類W-DLC涂層典型沉積溫度低于160°C, 可以在不軟化熱敏性鋼 (如100Cr6) 的條件下完成其鍍膜過程 。它的可以讓球閥擁有自潤滑性,且摩擦系數小,硬度高,光潔度高,抗刮性很強,所以是再合適不過的選擇了。
我們也做了研究,在球閥表面鍍上 WCC下涂層后,它之后在工作中的裂紋情況、稀釋率及硬度研究結果表明,隨著WCC含量升高涂層硬度顯著提高稀釋率逐漸降低,且表面也不會經常因為出現磨痕以及裂痕也影響其使用壽命,目前球閥在表面增加了WCC膜層后,使用壽命明顯提升了3-4倍,這大大減少了其重要零部件更換耗時的生產成本,提升了其生產效率。
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