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類金剛石薄膜(DLC)由于具有優良的光電和力學特性在工業上具有廣泛的應用前景近年來DLC膜在許多方面已得到了工業化應用如在切削刀具自動化機械零部件等的表面涂層處理上。但是DLC膜的一個致命弱點是內部應力很高使得薄膜的附著力特性較差、不易厚膜化從而極大地限制了它的應用范圍。為了改善硬質薄膜特別是DLC薄膜的附著力特性，最近人們將目光投向了納米多層膜的研究上此法如果能優化多層膜的調制周期、各涂層種類等，可以兼顧內應力緩解與薄膜高硬度等特性，目前我司DLC加工廠開始引入Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)。

Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)薄膜附著力及硬度會有什么影響？

采用納米劃痕儀和顯微硬度計分析測試了薄膜的附著力和硬度。研究表明金屬T的摻雜有利于DLC薄膜附著力特性的改善但對硬度有一定的影響。Ti應力緩和層的導入進一步改善了 T-DLC薄膜的附著力特性使其達到或超過了TIN薄膜的水平對于附著力的改善T應力緩和層存在最佳的厚度值采用特殊的變周期多層結構設計即在應力集中的膜基界面附近采用較小的調制周期薄膜頂層附近采用較大的調制周期不但可以保持足夠的附著力還可維持Ti-DLC薄膜原有的硬度。

應力緩和層對應力的緩解作用與層數,厚度及軟層/硬層厚度的相對比等間存在著密切的關系。多層薄膜的附著力緩和層的Ti/ TDLC/ TiDLC.特性發現對于具有層厚應力緩和層的 TiDLC多層膜其附著力結果有較大的差別，這說明應力緩和層具有最合適的厚度，太薄其相對滑動”不能發揮最大的應力緩和作用,太厚也不一定有利于附著力的提高。