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一、DLC類金剛石涂層工藝流程

1、工件基體處理。這一步是比較重要的，將工件拋光到小于Ra0.2um,涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質量，這對成形一些具有光學性能要求的零件是非常重要的，類似成形光學鏡頭和成形LED零件等。操作的時候需要注意基體表面處理不能留有死角，這影響到膜層是否能與基體牢固地結合。

2、充分清洗。將要涂覆的工件進行充分清洗，涂覆的母材、質量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設定的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸優化和保證涂覆均勻的基礎上設計的。清洗方法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統中的任何污染物，真空室中通入惰性氣體并使其離子化，導致產生輝光放電(等離子體)，這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉淀準備。

3、金屬沉淀。在用于沉淀的固體金屬上（指靶材）加載高電流、低電壓電弧，金屬被蒸發并且瞬間離子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進入腔體并沉淀在工件上。在金屬沉淀過程中蒸發了的金屬(靶材)保持不變。在激活的沉淀過程中，改變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材質也可以產生不同的膜層。

二、類金剛石涂層的質量檢驗

　　涂覆完成后，就要對成形工件的膜層質量進行檢驗，檢測膜層厚度是否均勻、工件的光澤、膜層是否出現分層及尺寸是否在控制范圍內。如果膜層出現問題、厚度超差、結合力不強等問題需要及時解決，下面我們來了解一下相應的解決辦法是什么吧!

1、檢驗膜層均勻度

　　檢驗成形后的膜層如果出現光澤不均勻、有花紋，應該是靶材的材質的純凈度不夠，雜質多就會導致膜層不均勻。也可能是涂覆設備的故障。

　　解決辦法：所以如果檢驗出了膜層的問題可以先檢測設備是否故障，如果設備穩定正常的話則必須更換靶材。

2、檢驗膜層厚度

　　檢驗膜層時如果發現厚度超差的情況，可能是處理時間過長或過短所導致的。

　　解決辦法：在設備穩定正常的情況下，膜層的厚度都是取決于成形的工藝時間，所以如果出現膜層超差的情況只要調整處理時間就可以了。

3、檢驗結合力

　　檢驗膜層和工件基體之間的結合力，結合力不強會出現分層現象。導致這種問題的原因很多，比如工件清洗得不干凈、不徹底，工件的基體沒有拋光到工藝要求或者存在缺陷，成形工藝參數不合理等。

　　解決辦法：如果出現這種情況的話需要一一排除，找到真正的原因，從而解決基體與膜層分層的問題，有時需要在工件上預先涂覆一層金屬來消除基體本身的缺陷。